अर्धचालक कोटिंग उपकरण के लिए स्वचालन नियंत्रण समाधान

मामले की पृष्ठभूमि:
अर्धचालक उद्योग में, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया में कोटिंग मशीनें आवश्यक हैं, जो फोटोरेसिस्ट या अन्य कार्यात्मक सामग्रियों को वेफर्स या सब्सट्रेट पर लागू करने के लिए जिम्मेदार हैं।स्पिन कोटिंग या स्प्रे कोटिंग विधियों का उपयोग करना, ये मशीनें पैटर्निंग सटीकता सुनिश्चित करने के लिए समान और स्थिर पतली फिल्मों का निर्माण करती हैं। उन्नत कोटिंग उपकरण सटीक मोटाई नियंत्रण, उत्कृष्ट एकरूपता प्रदर्शन से लैस हैं,और उच्च-सटीक पोजिशनिंग सिस्टमवे अक्सर उत्पादन दक्षता बढ़ाने और लगातार कोटिंग गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए स्वचालित लोडिंग/अनलोडिंग हथियारों और वास्तविक समय में फीडबैक नियंत्रण प्रणालियों से लैस होते हैं।

समाधान:

• मुख्य नियंत्रक:ओएमआरओएन पीएलसी

• लागू प्रक्रिया:कोटिंग

• प्रोजेक्ट I/O कॉन्फ़िगरेशन:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• वार्षिक उपयोगः1 मिलियन सेट

इस परियोजना में, ग्राहक को कोटिंग उपकरण के लिए एक कॉम्पैक्ट और कुशल वायवीय नियंत्रण प्रणाली बनाने के लिए डीकोवेल के एमटीसी वाल्व द्वीप उत्पादों के साथ एक ओएमआरओएन पीएलसी को एकीकृत करता है।सोलेनोइड वाल्व स्प्रे नोजल के ऊर्ध्वाधर और क्षैतिज आंदोलन को ठीक से नियंत्रित करने के लिए सिलेंडरों को चलाते हैंअतिरिक्त सिलेंडर स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग हथियारों को संचालित करते हैं, जो कोटिंग और कन्वेयर सिस्टम के बीच सब्सट्रेट को परिवहन करते हैं।

इस प्रणाली में वाल्व द्वीप के भीतर I/O मॉड्यूल शामिल हैं, जो पोजीशन सेंसर और चुंबकीय स्विच के आसान कनेक्शन को सक्षम करते हैं। यह डिजाइन वायरिंग जटिलता को कम करता है और रखरखाव में सुधार करता है।मॉड्यूलर वास्तुकला के साथ, प्रणाली विभिन्न उपकरण विन्यासों को पूरा करने के लिए उत्कृष्ट स्केलेबिलिटी और लचीलापन प्रदान करती है।

अनुप्रयोग लाभः

• उच्च एकीकरण वायरिंग को कम करता है और पैनल स्थान को बचाता है

• भविष्य के सिस्टम उन्नयन के लिए विस्तार योग्य I/O मॉड्यूल

• स्प्रे नोजल और हैंडलिंग हथियारों के लिए सटीक गति नियंत्रण

• उच्च मात्रा में उत्पादन के लिए उपयुक्त स्थिर, कुशल प्रदर्शन