1परियोजना की पृष्ठभूमि

गीला स्ट्रिपिंग उपकरण अर्धचालक और परिशुद्धता विनिर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण उपकरण है।इसका प्राथमिक कार्य नियंत्रित रासायनिक घोल और तापमान प्रबंधन के माध्यम से सब्सट्रेट से पतली फिल्मों या लेपित परतों को हटाना हैइन प्रणालियों को माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स, ऑप्टिकल घटकों, लचीले डिस्प्ले और अन्य उच्च परिशुद्धता उद्योगों में व्यापक रूप से लागू किया जाता है, जहां प्रक्रिया स्थिरता और स्थिरता आवश्यक है।

एक विशिष्ट गीले स्ट्रिपिंग सिस्टम में एक रासायनिक परिसंचरण मॉड्यूल, सटीक तापमान नियंत्रण प्रणाली, समाधान वितरण प्रणाली और एक प्रोग्राम करने योग्य स्वचालन मंच शामिल हैं।क्योंकि स्ट्रिपिंग गुणवत्ता प्रक्रिया मापदंडों के लिए अत्यधिक संवेदनशील है, उपकरण को द्रव के स्तर, तापमान, प्रवाह दर और रासायनिक स्थिरता पर सख्त नियंत्रण बनाए रखना चाहिए ताकि सब्सट्रेट क्षति को कम करते हुए समान स्ट्रिपिंग परिणाम सुनिश्चित किए जा सकें।

यह परियोजना अर्धचालक गीले स्ट्रिपिंग उत्पादन लाइन के लिए एक स्थिर, सटीक और उच्च दक्षता वाले स्वचालन समाधान प्रदान करने पर केंद्रित है, जिससे थ्रूपुट और उत्पाद की गुणवत्ता में सुधार होता है।

2समाधान का अवलोकन

• मुख्य नियंत्रक:कीयेंस पीएलसी

• लागू प्रक्रिया:फ्रंट-एंड लिथोग्राफी ⇒ पूर्व-पैटर्निंग गीली प्रक्रिया

• आई/ओ कॉन्फ़िगरेशनःलगभग 100 डिजिटल I/O बिंदु

• वार्षिक तैनाती मात्राः80 इकाइयाँ

3. तकनीकी कार्यान्वयन

गीले स्ट्रिपिंग उपकरण में आरएस-सीरीज के आई/ओ मॉड्यूल के साथ संयुक्त कीयेंस पीएलसी को अपनाया गया है, जो सटीक प्रक्रिया निष्पादन के लिए डिज़ाइन की गई एक पूर्ण और विश्वसनीय स्वचालन नियंत्रण प्रणाली बनाता है।

1मल्टी-सेंसर इनपुट अधिग्रहण

I/O मॉड्यूल विभिन्न सेंसरों से आवश्यक प्रक्रिया संकेत एकत्र करता है, जिनमें निम्न शामिल हैंः

• तरल स्तर सेंसर

• तापमान सेंसर

• प्रवाह सेंसर

• रासायनिक परिसंचरण स्थिति सेंसर

ये संकेत रासायनिक आपूर्ति, तापमान स्थिरता, और stripping चक्र के दौरान प्रक्रिया स्थिरता की सटीक निगरानी सुनिश्चित करते हैं।

2. सटीक एक्ट्यूएटर नियंत्रण

उच्च गति वाले तार्किक प्रसंस्करण के माध्यम से, पीएलसी I/O मॉड्यूल को नियंत्रित करता है और समन्वित क्रियाओं को निष्पादित करता है जैसेः

• रासायनिक हीटिंग समायोजन

• सटीक समाधान वितरण

• सफाई और परिसंचरण स्विचिंग

• वाल्व नियंत्रण

• सुरक्षा सुरक्षा और इंटरलॉकिंग

इससे यह सुनिश्चित होता है कि पूरी स्ट्रिपिंग सीक्वेंस सुचारू रूप से, कुशलतापूर्वक और सुरक्षित रूप से चले।

3प्रक्रियाओं की स्थिरता में सुधार

स्वचालन मानव त्रुटि को कम करता है और डेटा की ट्रेसेबिलिटी को बढ़ाता है। एकीकृत नियंत्रण तर्क दोहराए जाने योग्य स्ट्रिपिंग प्रदर्शन सुनिश्चित करता है, अंततः अर्धचालक प्रक्रिया में उपज में सुधार करता है।

4समाधान के फायदे

कॉम्पैक्ट और हल्के डिजाइन

मॉड्यूलर संरचना बड़े पैमाने पर गीले प्रसंस्करण लाइनों में निर्बाध एकीकरण की अनुमति देती है, स्थापना स्थान को कम करती है और लचीलापन को बढ़ाती है।

आसान स्थापना और रखरखाव

प्लग-एंड-प्ले I/O आर्किटेक्चर वायरिंग जटिलता को कम करता है, जबकि पीएलसी तेजी से समस्या निवारण और निदान का समर्थन करता है जिससे सिस्टम डाउनटाइम कम हो जाता है।

5. परिणाम और मूल्य प्रदान किया

केयेंस पीएलसी + आरएस आई/ओ स्वचालन वास्तुकला को लागू करके, गीले स्ट्रिपिंग प्रणाली ने प्राप्त कियाः

• उच्चतर स्ट्रिपिंग स्थिरताजो अर्धचालक स्तर की सटीकता आवश्यकताओं को पूरा करता है

• बेहतर स्वचालन और कम ऑपरेटर हस्तक्षेप

• उत्पादन दक्षता और उपज में वृद्धि

• भविष्य के प्रक्रिया उन्नयन के लिए मजबूत स्केलेबिलिटी

इस समाधान को फ्रंट-एंड लिथोग्राफी प्री-प्रोसेसिंग लाइनों में सफलतापूर्वक तैनात किया गया है और ग्राहकों से अत्यधिक सकारात्मक प्रतिक्रिया मिली है।