सेमीकंडक्टर – सीएमपी उपकरण नियंत्रण समाधान (रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग)

परियोजना की पृष्ठभूमि

सीएमपी (केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग) उपकरण रासायनिक प्रतिक्रियाओं और यांत्रिक पॉलिशिंग के बीच तालमेल के आधार पर काम करते हैं। रासायनिक अभिकर्मकों और पॉलिशिंग पैड के संयुक्त कार्य के माध्यम से,प्रणाली कुशलता से वेफर सतह से अतिरिक्त सामग्री को हटा देती है और नैनोमीटर स्तर पर वैश्विक समतलता प्राप्त करती है (कुल समतलता विचलन <5 एनएम).

सीएमपी पॉलिशिंग रासायनिक प्रक्रियाओं और यांत्रिक सामग्री हटाने को एकीकृत करती है, जिससे यह अर्धचालक वेफर निर्माण में सबसे महत्वपूर्ण चरणों में से एक बन जाता है।इसका मुख्य उद्देश्य उच्च परिशुद्धता सतह चिकनाई सुनिश्चित करना है, दोष उन्मूलन और एकरूपता डाउनस्ट्रीम लिथोग्राफी और उपकरण निर्माण के लिए आवश्यक है।

एकीकृत सर्किट विनिर्माण में व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली मुख्य तकनीक के रूप में, सीएमपी अल्ट्रा-फ्लैट वेफर सतहों को सुनिश्चित करता है और सीधे उपज, विश्वसनीयता और दीर्घकालिक डिवाइस प्रदर्शन को प्रभावित करता है।

समाधान का अवलोकन

मुख्य नियंत्रक:बेकहोफ पीएलसी
लागू प्रक्रिया:रासायनिक यांत्रिक चमकाने (सीएमपी)
आई/ओ कॉन्फ़िगरेशनः
8RS-EC2 + 916DI + 7*8DIBDO

हमारे समाधान में एक बेकहोफ पीएलसी का उपयोग हमारे कस्टम-डिज़ाइन किए गए आईओ मॉड्यूल के साथ जोड़ा गया है ताकि उच्च-सटीक, उच्च-विश्वसनीय सीएमपी उपकरण नियंत्रण प्रणाली का निर्माण किया जा सके।यह नियंत्रण मंच विभिन्न सेंसर इनपुट का समर्थन करता है, जिसमें निम्नलिखित शामिल हैंः

• फोटोइलेक्ट्रिक सेंसर

• दबाव सेंसर

• स्थिति सेंसर

• वेफर सतह की स्थिति की निगरानी

पीएलसी वास्तविक समय में सेंसर डेटा को संसाधित करता है ताकि मोटर ड्राइव, पॉलिशिंग हेड कंट्रोल, स्लरी वितरण, वेफर लोडिंग/अनलोडिंग तंत्र जैसे प्रमुख उपप्रणालियों को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सके।और अंत बिंदु का पता लगाने.

परियोजना विवरण

यह बुद्धिमान नियंत्रण प्रणाली सीएमपी प्रक्रिया के दौरान लगातार वेफर की सतह की स्थिति को ट्रैक करती है, जिससे पूरे वेफर में सटीक सामग्री हटाने और एकरूपता सुनिश्चित होती है।सेंसर प्रतिक्रिया के आधार पर, पीएलसी सटीक भार नियंत्रण और गति समन्वय करता है, स्थिर चमकाने के दबाव, सुसंगत स्लरी प्रवाह और इष्टतम यांत्रिक गतिशीलता को सक्षम करता है।

उन्नत स्वचालन के माध्यम से, समाधान यह सुनिश्चित करता हैः

• स्थिर समतलता गुणवत्ता

• प्रक्रिया परिवर्तनों के प्रति संवेदनशील प्रतिक्रिया

• उच्च वेफर उपज और एकरूपता

• मैन्युअल हस्तक्षेप और रखरखाव में कमी

ईथरकैट आधारित विश्वसनीय वास्तुकला मॉड्यूल के बीच उच्च गति संचार की गारंटी देती है, जिससे यह प्रणाली अर्धचालक निर्माण के लिए आदर्श है।

अनुप्रयोग लाभ

कॉम्पैक्ट आर्किटेक्चर, उच्च परिशुद्धता, उत्पादन दक्षता में वृद्धि

• उच्च गति वाले एथरकैट संचार वास्तविक समय नियंत्रण सुनिश्चित करता है

• लचीला आईओ आर्किटेक्चर कई सीएमपी उपकरण प्रकारों के अनुकूल है

• बेहतर सतह एकरूपता और दोष में कमी

• बुद्धिमान, स्वचालित नियंत्रण के माध्यम से उत्पादकता में वृद्धि

• स्थिर दीर्घकालिक संचालन 24/7 अर्धचालक कारखानों के लिए उपयुक्त

यह समाधान अर्धचालक निर्माताओं को एक विश्वसनीय और स्केलेबल सीएमपी प्रक्रिया नियंत्रण मंच प्रदान करता है, जिससे समग्र उपज में सुधार और वेफर पॉलिशिंग संचालन को सुव्यवस्थित करने में मदद मिलती है।